1、軟件維護
首先，使用設備維護(也稱為自檢)軟件根據提示運行，查看是否有損壞的零件或錯誤。如果有損壞的零件或錯誤，應根據錯誤提示更換相應的零件并進行糾正。
其次，用DMC軟件檢查各軸反饋系統是否正常工作。正確的操作步驟如下：最小化測試系統打開(開始\ \程序\ \數據管理)程序下或桌面上的數據管理控制(出現數據管理控制的測試界面)按下緊急停止開關用手移動各軸，觀察各軸光柵反饋系統的數字變化和靈敏度，看其數字變化是否在規定范圍內；然后激活TESTXY。DMC和TESTZ。DMC運行，觀察各軸是否能回到零位(各對應軸的位置讀數為“0”)。
2.硬件故障
硬件故障更有可能發生在所有故障中，因為測試系統的質量與工作環境(溫度、濕度等)密切相關。)，測試設備的工作時間、維護等因素。根據我的總結，硬件故障包括Z軸直線電機、光柵尺、光柵反饋數據線適配器和L形探頭。
(1)Z軸直線電機：由于直線電機長時間以高頻率運行，很容易使電機的運動部件變黑，產生黑度，導致上下不靈活，增加電機負載。因此，應定期(約6個月)拆除直線電機，并用無水酒精清洗。拆卸和清潔時，必須小心導向球滑落。
(2)光柵尺：光柵尺是所有高精度設備定位的核心部件，其質量直接關系到設備的精度和穩定性。然而，大多數光柵是由不良環境或不良空氣源引起的。車間環境可能導致光柵尺表面灰塵過多，直接影響反饋信號，導致許多開路。為了清除光柵尺上的灰塵，應該用無水酒精清洗。注意單向旋轉手蓋(蘸少許無水酒精)的使用，不要來回擦洗，也不要用力過大(以免劃傷格柵)；同時，要求氣源必須經過干燥、過濾和過濾進入，否則會影響設備的使用壽命和測量精度。
(3)光柵數據反饋線路適配器：印刷電路板飛針測試設備移動迅速，一旦設備處于工作狀態，會有很強的抖動。因此，光柵數據線連接器在使用一段時間后可能由于慣性而與插座接觸不良。為了避免這種情況，每天啟動前都應該檢查每個插頭。